慧沼一作惠沼(或惠照),俗姓劉名玄,祖籍彭城,後遷淄州,因此他亦稱淄州沼。十五歲時,高宗為新生兒子(即睿宗)祈福度僧,他就此時受度出家。

相傳他曾親近過玄奘。青年時已博通經藏,講《法華》、《般若》、《涅槃》等經。咸亨三年(672)始從窺基、普光受學。慧解超群,被稱為「山東一遍照」。他的唯識、因明諸疏,大概即在此時稟受師說漸次寫成。窺基去世(682年)後,慧沼遊行諸郡,講經二十餘年,同時寫成了《金剛般若》等經疏,和《慧日論》、《了義燈》等著作。

慧沼晚年又在義淨譯場任證義大德。唐中宗神龍三年(707)曾召義淨入宮同譯經沙門九旬坐夏,他也參加在內(見《開元錄》)。景龍四年(710)義淨於大薦福寺譯《浴像功德》等經,《根本說一切有部苾芻尼毗奈耶》等律,《唯識寶生》等論,慧沼與文綱、勝莊等同任證義。景雲二年(711)義淨於大薦福寺譯《稱讚如來功德神咒》等經,和《能斷般若論頌》等論,亦慧沼證義。慧沼所疏《金光明最勝王經》,即是義淨的新譯本。他晚年的思想受到義淨的一些影響。

慧沼於開元二年(714)十二月十七日去世(見李邕碑文後日本釋善珠記),壽六十四歲。他生平曾被驛征三次,詔講二次,補綱維大德六次,敕譯經論四次。他是慈恩宗的嫡傳,或許因此受到當時朝廷的重視。

慧沼的著作現存有十種,共四十卷:一、《金光明最勝王經疏》十卷,經文是武周長安二年(702)義淨譯。疏文也同時寫出,發揮了三乘五性的宗義,並訂正以真如為三身正因的舊說。二、《十一面神咒心經義疏》一卷,經文玄奘譯。三、《法華玄贊義決》一卷,釋窺基著《法華玄贊》中難義。四、《成唯識論了義燈》十四卷,與窺基的《成唯識論樞要》、智周的《成唯識論演秘》總稱唯識三疏,多分祖述窺基學說加以闡明補充;對圓測、道證等諸家異說一一批判。五、《因明入正理論義纂要》一卷。六、《因明入正理論義斷》二卷。七、《因明入正理論續疏》,慧沼自跋云:「於師曾獲半珠,緣闕未蒙全寶」,這是因窺基著《因明入正理論疏》到了喻過部分就絕筆了,慧沼接著做了下文的注解,所以稱為《續疏》。八、《大乘法苑義林章補闕》八卷,現存卷四、卷七、卷八。九、《能顯中邊慧日論》四卷,略名《慧日論》。十、《勸發菩提心集》三卷,第二卷中有受菩薩戒儀軌。

此外,慧沼的著作佚失了的還有《能斷金剛般若經疏》、《發菩提心論疏》等十種二十九卷。

玄奘所傳的瑜伽唯識學,由窺基的傳述,建立了以三乘五性說為主的慈恩宗,又由日沙門道昭、智通、智鳳、玄昉等傳衍至日本而建立了日本的法相宗。慈恩宗窺基是奠定者,智周為傳播者,而作為他們中間樞紐的就是慧沼。玄奘的學說雖然通過窺基等諸大弟子記錄下來,但有許多微言奧義未見得盡能一一筆之於書。同時玄奘在世時,門下對於教理的見解本來就不一致,作為繼承慈恩嫡傳的慧沼,就擔當了力排異說的任務。

慧沼的著作充滿了追求真理的精神,他為了對真理的探討,做到了「當仁不讓於師」的地步。他不但對於圓測、法寶等前輩沒有隨便妥協的態度;就是對於窺基的主張,有懷疑的地方也要求得一個是非;甚至對於玄奘的教授,也要透過思考才接受。用這種服從真理的精神來治學,是值得後人效法的。由於他的努力,進一步充實並推進了窺基的學說。在西明與慈恩的論爭中,慈恩之能得到最後勝利,慧沼起了決定性的作用。

慧沼的弟子最著名的首推智周,他從慧沼學,於西元703年和706年,先後有日本僧人智鳳、玄昉等來從他受學,回國弘傳。智周的著作,很多是輔翼或解釋慧沼的著述的。義忠、道巘、道邑、如理等當時也很出名。此外,碑序所載,還有惠沖微、惠勝說、耶含朏、惠日、福林、無著、惠融、惠祥、惠光、惠燈、惠嵩、惠先等。